離子層析法乃是使待測溶液通過充填樹脂之分離管，離子與樹脂產生交換作用而吸附於樹脂交換基之上，此時加入流洗液沖提，使其脫離交換基，再度變成自由離子，再不斷重複此一吸附－沖提循環作用。提供水質研究中之重要陰離子分析。

靜相為固體或液體薄膜，動相則為載流氣體。利用各種成份在靜相與動相間有不同之平衡係數、滯留時間而加以分離。圖譜上的滯留時間可將分析物定性，各成份之濃度與圖譜上之波峰面積成正比，因此將各成份予以認定。

利用通過石墨爐的電流大小來控制加熱溫度的高低，使樣品進行乾燥、灰化、原子化溫度等步驟，最後藉由測量氣態原子在特定波長光線的吸光度，求出各元素的濃度。其偵測濃度約在ppb範圍。